ICF70XY機(jī)械軸真空光學(xué)SHINKU機(jī)械臂

ICF70XY機(jī)械軸真空光學(xué)SHINKU機(jī)械臂

回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)VBR-70

規(guī)格

使用焊接回流10 deg/1刻度

傳遞扭矩2N?m手動

連接法蘭ICF70FH

旋轉(zhuǎn)棒φ8（SUS304）帶限位器

約820g

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

ICF114XY機(jī)械軸XY-114M

規(guī)格】

X?Y平行移動±3ｍｍ

最小分辨率0.00004mm/脈沖

安裝法蘭ICF 114

玫瑰內(nèi)徑60mm40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

也會手工制作

迷你手動機(jī)械軸X-34/34

本產(chǎn)品在大氣中進(jìn)行超高真空移動及測定等實(shí)驗(yàn)

為了正確且再現(xiàn)性好地操作X軸的平行移動而設(shè)計(jì)，進(jìn)行精密的制作、組裝，本公司的產(chǎn)品廣泛地被各方面利用。

規(guī)格

X方向移動±2.5ｍｍ

安裝法蘭：ICF34FT

焊接回流內(nèi)徑：φ17ｍｍ

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

也制作馬達(dá)驅(qū)動。

照片是馬達(dá)驅(qū)動

帶旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)的便攜棒WSR-80

其他，根據(jù)用途進(jìn)行設(shè)計(jì)。

規(guī)格

焊接回流：伸縮方式

行程：0～80mm（也有100mm）、360°旋轉(zhuǎn)

安裝法蘭：ICF70FH

厚連桿：Φ6、前端部會根據(jù)用途制作

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

貫通型直線導(dǎo)入機(jī)LM-40S-BN(LM-80S-BN)

本產(chǎn)品在以往的直線導(dǎo)入機(jī)上附加了各種導(dǎo)入機(jī)、魚叉等安裝的法蘭，不僅可以用于超高真空槽的直線移動、定位等單純的直線導(dǎo)入機(jī)，還可以進(jìn)行各種復(fù)合操作。

由于安裝法蘭是ICF法蘭，所以可以利用一般的送通，例如，與使用電流導(dǎo)入端子的可動型檢測器、其他的運(yùn)動導(dǎo)入機(jī)組合而安裝了2軸動作型機(jī)械手、閥門等的可動型噴嘴、可以考慮斯尼弗等廣泛的應(yīng)用。

規(guī)格

移動距離：0～40mm（LM-40S-BN）、0～80mm（LM-80S-BN）

連接法蘭：ICF70FH

擴(kuò)展安裝法蘭：ICF34FTBNC付ICF34

定位精度：1rev.2mm1刻度／0.1mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下