ME-0806D臺式主動減震系統(tǒng)MEIRITZ明立精機

ME-0806D臺式主動減震系統(tǒng)MEIRITZ明立精機

臺式主動減震系統(tǒng)

ME-1007D,ME-0806D

石定盤空氣彈簧式減振裝置

AG-1007,AG-1209,AG-1510,AG-1809,AG-2010,AG-2412

臺式主動減震系統(tǒng)概要：

在長期的歷史和交付業(yè)績中培養(yǎng)起來的減震技術(shù)開發(fā)的ME40系列更新為ME系列。將6自由度主動減震機構(gòu)集約在緊湊的機體內(nèi)，提供傳統(tǒng)被動型無法實現(xiàn)的振動環(huán)境。在近年來進(jìn)步顯著的納米技術(shù)領(lǐng)域，特別要求高精度、高分辨率的精密儀器性能得到最佳發(fā)揮，是最佳合作伙伴。

特點：

6自由度主動控制。搭載盤及安裝面的振動進(jìn)行實時監(jiān)控，并通過內(nèi)置的執(zhí)行器施加反相力進(jìn)行振動控制。以三維（6自由度）進(jìn)行控制。

自動主動調(diào)整＆自動調(diào)平。活性控制所需的增益調(diào)整通過明立精機的原創(chuàng)控制系統(tǒng)自動優(yōu)化。

輕量搭載物也有可能。通過檢查裝置結(jié)構(gòu)，現(xiàn)在即使是像小型SPM這樣的輕量載荷也能使用。

僅靠電源運行。使用所需的工具是電源。不需要壓縮機等空氣源。不受安裝位置和使用環(huán)境的限制。

掃描探針顯微鏡（SPM）、共聚焦激光顯微鏡、干涉計系統(tǒng)、三維形狀測量儀、激光位移計系統(tǒng)、及其他精密測量和精密加工設(shè)備。