SD-10油擴散泵SHINKOSEIKI神港精機

SD-10油擴散泵SHINKOSEIKI神港精機

油擴散泵

SD-3,SD-4,SD-6,SD-8,SD-10,SD-14,SD-16,SD-22

SD-4H,SD-6H,SD-8H,SD-10H真空排氣單元

SMB-200,SMB-C06,SMB-C15,SMB-C25,SMB-5000

油擴散泵【共通規(guī)格】

?工作油為Neo Back SX（SH-704）或Lion A

?如果工作油是DC-705，到達壓力為4×10-6Pa，電力將增加20%～

　45%

?油蒸汽的逆流量為7×10-7～2×10-8g/min?cm2以下

【特長】

?排氣速度大

?油蒸汽的逆流少

?加熱器的壽命長（采用鋁鑄加熱器）

?可獲得高的允許背壓（側(cè)執(zhí)行器型）

油擴散泵的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的擴散器在泵內(nèi)產(chǎn)生高速氣流，將氣體擴散至泵內(nèi)壁面，然后被油膜捕集并被抽出泵。

油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4~10-5帕，工作壓力范圍為10-1~10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。