正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
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正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡
正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡
| 項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 0.8 nm （加速電壓15 kV） 1.1 nm （著陸電壓1 kV）*3 | 0.7 nm（加速電壓 15 kV） 0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*3 | |||||
| 著陸電壓 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺（可選5軸馬達臺） | 5軸馬達驅(qū)動 | ||||
| 移動范圍 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||
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